1、传动机失调：当行星减速机中电机与驱动器的校准线不好，机座的振动频率可以说是行星减速机的转速，有可能机座设计的问题，导致运行中不稳定的状态。
2、伺服电机：如伺服电机在零速时发生抖动,可能是增益值设高了,可适当减小。
3、惯性的抖动：把加减速时间分别调大可以解决这个现象。
4、负载过大：直角行星减速机的负载惯量过大,可更换大的伺服电机和驱动器。
5、编码器线接错。
6、转子机械不平衡：这里所说的不平衡是转子静止状态下的不平衡和转动的情况下不平衡，转子偏离轴心，在离心力作用下产生偏转产生异常振动。
7、轴承磨损过大：轴承长时间工作，轴承的间隙发生过大或者不平衡情况出现，导致轴承摩擦发热，最怕的转子和定子发生摩擦，这样会直接损坏轴承。最容易发生振动的是滑动轴承，因为这有润滑油的粘性作用机轴会浮起，而且这个也和轴承重量有关，如果轴承重量越大，磨损也会比较快。
8、转子零件松动：电机转子的若干部分，换向器、磁极、皮带轮等，行星减速机使用久了也会发生这些松动情况，一般这种情况，转子都会有杂声出现，这些情况发生了最好尽快处理，因为时间长了后果会越来越严重。